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    KS-S150 星型全自动涂胶显影机

    KS-S150星型全自动涂胶显影机用于LED-PSS工艺的涂胶显影制程及化合物半导体的涂胶显影等制程。可兼容蓝宝石、砷化镓和碳化硅等材质的晶圆，产品涉及多个应用领域，涂胶机产能大于190片/小时。设备通过了CSA认证。
    产品优势：

    1.占地小、稳定性高、操作与维护方便
    2.产能高，涂胶机产能大于190片/小时
    3.光刻胶用量小，4寸用量0.6ml
    4.优异的流场设计，涂胶均匀性好

    应用领域：

    ●传感器芯片制造
    ●光通信芯片制造
    ●功率芯片制造
    ●LED芯片制造
    ●图形化衬底制造
    ●化合物半导体领域

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