KS-S150-6ST 去胶机
1.自主IP的双真空双夹持四手高速机械手，产能高，干湿分离无交叉污染 2. 具有AWC高效图像对中功能 3.采用可多片兼容不同尺寸、不同角度的浸泡系统 4.闭环控制高压管路系统，可实现目标值±0.2MPa的控压精度 5.自主IP的耐高压在线式加热器，可达到国际加热器同等控温 6. 工艺单元采用主动夹持Chuck，可避免晶背划伤及晶圆侧翻 7.去胶液可自动回收，循环使用
● 高端封装 ● OLED 领域
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