KS-CF300/200-8SR 全自动SCRUBBER清洗机
1. 机台可采用防静电管路，防止水中静电荷到达晶圆表面，
对图形造成破坏
2. 翻转单元接触点少，减小了与晶圆的接触面积
3. 所有表都为数字显示，数据上传工控机方便追溯
4. 机台优化传输路径，产能大幅提升
5. 软件客制化，界面友好，可按照客户要求更改
6. 更高效的FFU
7. 售后服务：响应快，当地驻厂服务（7X24小时）
8. 支持工厂自动化
● 晶片炉管前后清洗
● 化学气相沉积（CVD）前后的清洗
● 物理气相沉积（PVD）前后的清洗
● 化学机械抛光（CMP）前后的清洗，前后段干法刻蚀后的清洗
● 特殊工艺要求晶圆背部及晶圆边缘的清洗
